根据生产工艺对生产环境的不同要求(温度、湿度、洁净度、正压...)，可以分为四种不同的送风系统。① DC供气系统。 (2)回风供应系统。 (3)一、二次回风送风系统。 ④新风机组(MAU)和循环机组(RCU)送风系统。 其次是空调净化系统中的空气分离和送风方式。一种将送风与空调送风分开的方法，以消除室内余热和湿度，洁净送风，保证室内洁净度水平。即消除室内余热和湿度的空调送风量(约占总送风量的10% ~ 30%)在位于空调机房的空调机组(AHU)或新风机组(MAU)中进行热湿处理，保证室内温度和相对湿度，净化送风量(占总送风量的70% ~ 90%)在洁净室中循环，保证室内洁净度。
洁净室空调净化系统的能耗远大于一般的舒适性空调。随着净化水平的提高，洁净室的空调能耗也急剧增加。洁净室空调系统主要能耗: (1)为了维持洁净室所需的温度和相对湿度，有必要对m线进行必要的热湿处理(冷却、除湿、加热、加湿...)到洁净室，所以需要向空调净化系统和蒸汽供应制冷和制热，消耗大量能源。 (2)为了保证洁净室的洁净度、温度、湿度等参数，必须将大量的空气送入洁净室，送风的风机、供水的水泵等动力设备也消耗了相当大的能量。 (3)上述供冷、供热、供汽所消耗的能源和送风、供水设备所消耗的电力。 (4)洁净室冷负荷的主要负荷是新风冷负荷，它消除了工艺设备和工艺产生的冷负荷，抵消了风机和水泵产生的冷负荷，而围护结构、照明和操作人员三者的冷负荷相对较小，有数据显示其负荷不到高级别洁净车间总冷负荷的10%。
洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。