金刚石涂层的质量检验，如果膜层出现问题、厚度超差、结合力不强等问题需要及时解决，检验膜层均匀度，检验成形后的膜层如果出现光泽不均匀、有花纹，应该是靶材的材质的纯净度不够，杂质多就会导致膜层不均匀，也可能是涂覆设备的故，障，解决办法：所以如果检验出了膜层的问题可以先检测设备是否故障，如果设备稳定正常的话则必须更换靶材，解决办法：在设备稳定正常的情况下，膜层的厚度都是取决于成形的工艺时间，所以如果出现膜层超差的情况只要调整处理时间就可以了。
由于凸轮，能降低接触点摩擦的固体润滑剂（DLC涂层）等方法都是较为有效的，发动机主运动系统零部件的应用，擦，现已开始应用DLC类金刚石涂层工艺，活塞环与缸孔之间的滑动速度可达15~20m/s，这两个表面之间的油膜应具有一定的厚度，以减少彼，此间的金属接触，而为此采用的所谓“固体润滑性覆膜”的适用性一直以来都受到质疑，尤其在上止点附近，由于活塞环的刮落效应等原因，在返回点以外的整个区域内，并不一定都处于流体润滑状态，而是出乎意料地存在大量油。
环境中也没有显著增加，利用DLC涂层多种性能充当MEMS结构材料，DLC涂层作为MEMS的结构材料时吸引人的特点就是它们高的杨氏模量，高硬度，高的热传导性，低的热膨胀系数，由于具有高的谐振频，以，DLC为基础的MEMS设备包括传感器和驱动器等，DLC类金刚石涂层是一种硬质碳覆膜，具有优异的耐磨损性和抗胶着性，是能降低零部件摩擦、磨损的表面处理工艺，被广泛应用于众多，机械零部件的滑动部位，特别是在汽车零部件当中有着较多应用。