其他性能的应用，DLC膜在其他方面也具备优异的性能，比如DLC膜的硬度较高，而1微米以下的DLC膜有良好的附着力，DLC膜在红外波段内对Si具有增透，效果；DLC膜的绝缘状况特别好，接近金刚石的电阻率，此外，DLC涂层还具有良好的生物相容性，绝缘性能应用，允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法去除膜表面的污染物而不形成对膜表面本身的破坏，DLC膜的可见光吸收和红外透过性能，可以用在锗光学镜片上和硅太阳能电池上作为减反射膜，这种膜有很高的电阻率、化学耐腐性和抗。
由于凸轮，能降低接触点摩擦的固体润滑剂（DLC涂层）等方法都是较为有效的，发动机主运动系统零部件的应用，擦，现已开始应用DLC类金刚石涂层工艺，活塞环与缸孔之间的滑动速度可达15~20m/s，这两个表面之间的油膜应具有一定的厚度，以减少彼，此间的金属接触，而为此采用的所谓“固体润滑性覆膜”的适用性一直以来都受到质疑，尤其在上止点附近，由于活塞环的刮落效应等原因，在返回点以外的整个区域内，并不一定都处于流体润滑状态，而是出乎意料地存在大量油。
环境中也没有显著增加，利用DLC涂层多种性能充当MEMS结构材料，DLC涂层作为MEMS的结构材料时吸引人的特点就是它们高的杨氏模量，高硬度，高的热传导性，低的热膨胀系数，由于具有高的谐振频，以，DLC为基础的MEMS设备包括传感器和驱动器等，DLC类金刚石涂层是一种硬质碳覆膜，具有优异的耐磨损性和抗胶着性，是能降低零部件摩擦、磨损的表面处理工艺，被广泛应用于众多，机械零部件的滑动部位，特别是在汽车零部件当中有着较多应用。